三星顯示器公司與LGDisplay準(zhǔn)備在柔性O(shè)LED薄膜封裝過程中采用ALD(原子層沉積)技術(shù),兩家公司已經(jīng)與合作伙伴合作,在內(nèi)部采購并驗(yàn)證ALD設(shè)備。如果采用ALD技術(shù),就可以更好保護(hù)有機(jī)材料,減少氧、水的影響,從而提高柔性O(shè)LED面板的壽命和性能。
據(jù)產(chǎn)業(yè)人士透露,三星顯示器和LGDisplay正準(zhǔn)備在柔性O(shè)LED生產(chǎn)流程中采用ALD技術(shù)。JusungEngineering、WONIKIPS、APSystem和TES擁有ALD技術(shù)和設(shè)備。LGDisplay已經(jīng)完成對(duì)ALD的研究,準(zhǔn)備將它用于柔性O(shè)LED生產(chǎn);三星顯示器也在加速部署ALD技術(shù)。
兩家公司完成了ALD技術(shù)的研發(fā),它們正在考慮實(shí)際引入ALD的可能性,因?yàn)樗鼈冋谙蛉嵝設(shè)LED生產(chǎn)設(shè)施投資。企業(yè)的研發(fā)已經(jīng)完成,開始進(jìn)入商用階段。
OLED是有機(jī)材料,它存在缺陷,比如,OLED對(duì)水和氧的防護(hù)比較弱。為了保護(hù)OLED,制造商會(huì)在OLED之上鋪上許多層的薄膜,減少水和氧的侵蝕。具體鋪多少層?不同的制造商有不同的標(biāo)準(zhǔn),一般而言,制造企業(yè)會(huì)用一種名叫“Vitex”的方法在OLED之上鋪蓋有機(jī)薄膜和無機(jī)薄膜,交疊進(jìn)行,各自3-5層。。
在無機(jī)薄膜封裝過程中,企業(yè)一般使用PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)汽相沉積)、濺射、ALD技術(shù);如果是有機(jī)薄膜沉淀,使用的是Kateeva的噴墨打印技術(shù)。為了生成無機(jī)薄膜,三星和LG采用PECVD技術(shù)。
為什么兩家企業(yè)現(xiàn)在才考慮用ALD技術(shù)替代PECVD?因?yàn)閴勖托阅軐?duì)于柔性O(shè)LED來說越來越重要。另外,柔性O(shè)LED屏幕的生產(chǎn)力下降,需求增長也是一個(gè)問題。